中科院没让我们失望!国产EUV光刻机有了突破

要说现在最重要的高端产业是什么?很多人都会说是芯片,半导体产业。但是实际上除了芯片之外,还有很多的高端产业是非常重要的,比如说工业软件,互联网云,智能汽车等等。

但是为什么人们这么关注芯片呢?一方面虽然和老美针对华为和我国芯片产业有关,另一方面也是因为芯片在这些重要的高端产业中,也具有特别重要的分量。无论是工业软件、互联网科技还是智能汽车,虽然代表着不同领域的技术,但是它们都有一个共同点,那就是需要芯片。像这些高端产业,没有芯片,就等于没有大脑,也就失去了很大的价值。更何况未来大部分产业都在朝智能化发展,现在特别重要的工业4.0,同样是在原来的基础上,将工业智能化。而智能化需要什么,芯片啊。芯片是智能的核心,是大脑。

你说芯片重要不重要?但是我国的芯片却发展得不行,之所以不行,是因为被卡了脖子,为什么会被卡脖子?是因为我国的芯片产业链不自主。事实上,整个芯片产业链我国不是说都不行,而是一些关键的阶段不行。比如说芯片技术最难的光刻机。

世界上最顶尖的光刻机来自于荷兰阿斯麦公司的EUV光刻机,目前最高端的芯片制程都离不开阿斯麦的EUV光刻机。像台积电、三星和我国的中芯国际,想要制造芯片,都需要从阿斯麦进口光刻机。但是自从老美开始对我国芯片产业进行制裁之后,阿斯麦向我国进口光刻机就受到了限制,而缺少顶尖的EUV光刻机,高端制程就无法实现了。

虽然无法从荷兰阿斯麦公司进口EUV光刻机,但是我国也不会就此放弃,以后就依赖进口芯片支撑国内的厂商。现在我国已经开始计划制造自己的光刻机,这不仅是压力之下的要求,也是我国社会转型,抢占高端产业的需求。只不过老美一番猝不及防的打击之下,将这个时间提前了不少而已。

我国现在将很多的精力放在生产国产光刻机上,也是不断传来了好消息,在关键技术上都不断实现了突破。比如说最近官方就报道了两例突破性技术。一项技术来自于中科院的突破,其一项关于光源的技术已经到了收尾的地步,相关的设备已经开始安装,不久后我国的第一个高能同步辐射光源设备将会现世。

要知道,EUV光刻机最重要的一部分就是极紫外光源,该光源可以实现高端制程芯片的雕刻,可以说没有极紫外光源,就没有EUV光刻机以及高端芯片。而中科院这一次没让我们失望,在光源上的突破,意味着国产光刻机的光源得到了解决,这是非常有意义的。

另一项技术的突破来自于中科科仪,其研究出了最新的镜镀膜装置。该装置可以被运用于EUV光刻机的镜头使用。虽然这项技术不如光源技术那么关键,但同样是一项对于EUV光刻机来说至关重要的技术。该技术的突破,意味着我们离国产EUV光刻机又近了一步。

我国光刻机技术的突破我们都能看到,我们有什么理由不相信自己呢?今年年底,上海微电子将会交付最新的国产光刻机,这款光刻机具有28nm技术,将可以用于28nm及更高端的芯片制造。有传言该光刻机甚至可以用于制造7nm芯片。而随着该光刻机的投入使用,我国的芯片产业自主化就又向前迈出了一步,对进口的依赖程度也会随之减少很多。

EUV光刻机是世界上最顶尖的技术之一,其不仅对各项技术的要求达到了顶尖,对于制造业工艺的水平也是要求极高。因为光是组成EUV光刻机的零件就达到了十万个,很多核心零件都需要极强的制造工艺才能完成。所以说一台EUV的光刻机光是供应商就达到了五千家左右,可见EUV光刻机有多难。

EUV光刻机的制造难度越高,国产EUV光刻机就越难,这条道路注定将是一个漫长的过程,中间充满了艰辛和挑战。但是我们并不害怕,光刻机技术是我国芯片自主化的命门所在,严重地钳制了我国芯片的发展,所以我们必须要攻克,哪怕需要付出极大的代价。

光刻机技术的不断突破也证实了国产EUV光刻机并不是一个幻想,而是一个可以实现的目标。之前阿斯麦的总裁就曾说过,只要给我国三年的时间,我国便可以制造自己的光刻机。老美的专业人员也曾表示,中国将在十年内实现芯片的供应自足。

种种好消息和技术突破似乎在告诉我们,国产光刻机已经不远,而未来,一个崭新的芯片大国将从东方崛起!