集微网消息，据韩媒报道，德国默克公司将开始在韩国生产化学机械抛光 (CMP) 浆料，预计将于2022年上半年开始交付。
据韩媒梳理，此前默克已经在京畿道平泽市建设了CMP浆料生产线。
默克还准备在韩国生产极紫外 (EUV) 光刻工艺所需冲洗液。该产品在 EUV 曝光过程后起到去除残留物的作用。
韩媒称，默克于 2019 年收购的 Versum Materials 也计划扩大韩国半导体市场业务，该公司向三星电子等企业供应双重微影技术 (DPT) 材料，目前三星电子大约一半的 DPT 材料依赖 Versum Materials。（校对/乐川）