每经编辑：周宇翔
上海精测半导体7月13日宣布，国内首台12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与国内唯一12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）顺利出机。
上海精测半导体介绍，12寸独立式光学线宽测量机台(OCD)是该类型的国内首台机台，主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测，并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。EPROFILE 300FD测量系统拥有完全自主知识产权，包括宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位系统、系统软件等核心零部件均为自主研发，是真正意义上的高端国产化机台。
图片来源：上海精测半导体微信公号
配套EPROFILE 300FD，上海精测还同时发布了新一代电磁场仿真建模工具J_ProfilerTM V3.0; 该款软件允许用户在数百核的高速建模运算服务器上进行OCD建模与库匹配，可以在获取复杂三维纳米结构光谱变化信息后，实时高速的对于纳米结构的各个维度精确值进行计算。
EPROFILE 300FD和J_ProfilerTM V3.0将为国内高节点产线提供稳定、实时、高速的量测解决方案。
据介绍，12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）是上海精测半导体的另一项主力产品。公司从底层开发做起，扫描电子显微镜、配套扫描成像电路等关键核心部件均为自主设计，自主知识产权，并用了近两年的时间打通了电子显微镜核心零部件加工的国产化供应链。此次出厂的机台配备了基于深度学习的高准确率智能化自动缺陷检测与分类算法，将进一步帮助客户提升缺陷复查分析的效率并显著提升设备使用的便捷性。
图片来源：上海精测半导体微信公号
另据精测电子（300567.SZ）7月13日公布的投资者关系活动记录表显示，上海精测半导体本次出机的上述两款产品，客户为中芯国际。
精测电子同时表示，半导体研发投入巨大，验证周期长，公司预计2021年在半导体的部分产品线实现扭亏，但整体半导体业务实现盈利仍需要更多时间和努力。
股价方面，本周前两个交易日精测电子股价呈现盘整走势，周二盘中一度创出去年8月以来新高。此外，该股上周五曾出现20%涨停。
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每日经济新闻