台积电2021年节电4亿度,节水248万吨

摘要:7月1日消息,台积电最新公布的《台积公司110 年永续报告书》显示,台积公司致力打造半导体绿色供应链,考量制程机台用电量占全公司能源使用50% 以上,且先进机台数量逐年增加,2021年,台积公司「新世代机台节能行动专案」共提出365 项节能行动方案,其中159 项节能方案已通过验证,并应用于119 种5nm及未来的3nm的先进制程机台。还针对17 种耗能元件,专案导入高效能零件与节能设计,成功省下4 亿度年用电量。
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7月1日消息,台积电最新公布的《台积公司110 年永续报告书》显示,台积公司致力打造半导体绿色供应链,考量制程机台用电量占全公司能源使用50% 以上,且先进机台数量逐年增加,2021年,台积公司「新世代机台节能行动专案」共提出365 项节能行动方案,其中159 项节能方案已通过验证,并应用于119 种5nm及未来的3nm的先进制程机台。还针对17 种耗能元件,专案导入高效能零件与节能设计,成功省下4 亿度年用电量。
报告书中还表示,「新世代机台节能行动专案」每年举行逾百场讨论会,寻找机台节能的机会点与创新思维。针对耗电量前6 大设备商,台积公司深入参与先进机台模组设计的节能理念、给予执行方针,并透过定期召开技术精进会议反覆验证绿色效益,并将节能规范纳入新机台采购标准规格,为全球第一家驱动设备商对先进机台导入节能措施的半导体企业,坚定迈向民国119 年平均机台设备节能效益20% 的永续目标。
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除了在节电创造出成果之外,在用水的方面,报告书也指出,2021年,因先进制程净度需求提升与新建厂区启动运转,晶圆单位产品用水需求量增加,台积公司持续推动「提升系统产水率、厂务系统排水减量、增加厂务废水回收、降低系统排水损失」四大节水措施,积极寻求节水机会点,以达最大节流效益。
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2021年,台积公司透过节水措施得以维持制程用水稳定供应,整体回收系统增加248 万公吨节水量,晶圆单位产品用水量为119.9(公升/十二吋晶圆当量‒ 光罩数),相较于基准年(民国99 年)的140.9(公升/十二吋晶圆当量─光罩数)下降14.9%,达成年度目标。晶圆单位产品废水排放量为78.9(公升/十二吋晶圆当量─光罩数),相较前一年单位产品废水排放量降低8%,显示台积公司推动节水措施有效提升水回收效率、降低废水排放量。
编辑:芯智讯-浪客剑
台积电《2021年度永续报告书》
https://esg.tsmc.com/download/file/2021_sustainabilityReport/chinese/c-all.pdf