金融界 2024 年 9 月 27 日消息，国家知识产权局信息显示，江苏启微半导体设备有限公司取得一项名为“一种晶圆干燥冷却装置”的专利，授权公告号 CN 221766717 U，申请日期为 2024 年 1 月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种晶圆干燥冷却装置，其中，包括晶圆槽体，以及设置于所述晶圆槽体内的多个加热灯管及晶圆载具；所述加热灯管设置于所述晶圆载具的侧面；所述晶圆载具内部中空并承载有流动的冷却介质。本实用新型中将晶圆载具设置为内部中空，且流动有冷却介质，因此在对晶圆进行干燥处理时，晶圆载具内部的冷却介质会保证晶圆载具的温度在安全范围内，不会因温度影响晶圆载具的正常工作状态。